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Betriebsmittel

Typische Anwendungen

  • Vakuum-Metallurgie
  • Ophthalmische Beschichtungen
  • Vakuum-Metallisierung
  • Vakuum-Röhrenindustrie
  • Elektronenstrahlschweissen
  • Vakuum-Chemie, Analytik
  • Isolations-Vakuum

 

Erreichbarer Enddruck

Die Enddrücke können bei richtiger Konditionierung des Hochvakuum-Pumpsatzes erreicht werden. Sie beziehen sich auf blindgeflanschte Pumpgruppen mit der entsprechenden Kombination/Baffle. Diese Enddruckwerte können unterschritten werden, wenn noch vorhandene Gasquellen weiter vermindert werden.

Mineralöl 66A

Dampfdruck bei 20°C: 4 · 10-8 mbar

Gute chemische, oxidative und thermische Beständigkeit

Bevorzugter Druckbereich: 10-7 – 10-3 mbar

 

Enddruck

LN2-Kühlung < 6 · 10-9 mbar

Maschinenkühlung -20 °C < 6 · 10-8 mbar

Wasserkühlung 20 °C < 4 · 10-7 mbar

Luftkühlung 25 °C < 1 · 10-6 mbar

Silikonöl HSR 704 EU                   

Vollwertiger Ersatz für DC 704

 

 

Dampfdruck bei 20 °C: 2 · 10-8 mbar

Sehr gute chemische, oxidative und thermische Beständigkeit

Bevorzugter Druckbereich: 10-7 – 10-3 mbar

 

Enddruck

LN2-Kühlung < 6 · 10-9 mbar

Maschinenkühlung -20 °C < 3 · 10-8 mbar

Wasserkühlung 20 °C < 6 · 10-8 mbar

Luftkühlung 25 °C < 5 · 10-7 mbar

 

Silikonöl HSR705

Vollwertiger Ersatz für AN 175

 

Dampfdruck bei 25 °C: 3 · 10- 9 mbar

Sehr gute chemische, oxidative und thermische Beständigkeit

Bevorzugter Druckbereich: 10-8 – 10-5 mbar

 

Enddruck

LN2-Kühlung   to 10-11 mbar

Maschinenkühlung -20 °C < 3 · 10-8 mbar

Wasserkühlung 20 °C < 3 · 10-8 mbar

Luftkühlung 25 °C < 2 · 10-7 mbar

Pentaphenyläther SANTOVAC 5

Dampfdruck bei 20 °C: 1 · 10-10 mbar

Ausgezeichnete chemische, oxidative und thermische Beständigkeit

Bevorzugter Druckbereich: 10-8 – 10-3 mbar

 

Enddruck

LN2-Kühlung < 6 · 10-9 mbar

Maschinenkühlung -20 °C < 3 · 10-8 mbar

Wasserkühlung 20 °C < 3 · 10-8 mbar

Luftkühlung 25 °C < 2 · 10-7 mbar

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