Betriebsmittel
Typische Anwendungen
- Vakuum-Metallurgie
- Ophthalmische Beschichtungen
- Vakuum-Metallisierung
- Vakuum-Röhrenindustrie
- Elektronenstrahlschweissen
- Vakuum-Chemie, Analytik
- Isolations-Vakuum
Erreichbarer Enddruck
Die Enddrücke können bei richtiger Konditionierung des Hochvakuum-Pumpsatzes erreicht werden. Sie beziehen sich auf blindgeflanschte Pumpgruppen mit der entsprechenden Kombination/Baffle. Diese Enddruckwerte können unterschritten werden, wenn noch vorhandene Gasquellen weiter vermindert werden.
Mineralöl 66A
Dampfdruck bei 20°C: 4 · 10-8 mbar
Gute chemische, oxidative und thermische Beständigkeit
Bevorzugter Druckbereich: 10-7 – 10-3 mbar
Enddruck
LN2-Kühlung < 6 · 10-9 mbar
Maschinenkühlung -20 °C < 6 · 10-8 mbar
Wasserkühlung 20 °C < 4 · 10-7 mbar
Luftkühlung 25 °C < 1 · 10-6 mbar
Silikonöl HSR 704 EU
Vollwertiger Ersatz für DC 704
Dampfdruck bei 20 °C: 2 · 10-8 mbar
Sehr gute chemische, oxidative und thermische Beständigkeit
Bevorzugter Druckbereich: 10-7 – 10-3 mbar
Enddruck
LN2-Kühlung < 6 · 10-9 mbar
Maschinenkühlung -20 °C < 3 · 10-8 mbar
Wasserkühlung 20 °C < 6 · 10-8 mbar
Luftkühlung 25 °C < 5 · 10-7 mbar
Silikonöl HSR705
Vollwertiger Ersatz für AN 175
Dampfdruck bei 25 °C: 3 · 10- 9 mbar
Sehr gute chemische, oxidative und thermische Beständigkeit
Bevorzugter Druckbereich: 10-8 – 10-5 mbar
Enddruck
LN2-Kühlung to 10-11 mbar
Maschinenkühlung -20 °C < 3 · 10-8 mbar
Wasserkühlung 20 °C < 3 · 10-8 mbar
Luftkühlung 25 °C < 2 · 10-7 mbar
Pentaphenyläther SANTOVAC 5
Dampfdruck bei 20 °C: 1 · 10-10 mbar
Ausgezeichnete chemische, oxidative und thermische Beständigkeit
Bevorzugter Druckbereich: 10-8 – 10-3 mbar
Enddruck
LN2-Kühlung < 6 · 10-9 mbar
Maschinenkühlung -20 °C < 3 · 10-8 mbar
Wasserkühlung 20 °C < 3 · 10-8 mbar
Luftkühlung 25 °C < 2 · 10-7 mbar